洁净室是一种高度洁净的环境，其主要用途是在制作的完整过程中保证产品的质量和稳定能力。在洁净室中，灭菌是很重要的一环，因为只有彻底灭菌，才可能正真的保证洁净室内的环境达到标准。
目前，万级洁净室主要是采用的3种灭菌方法是紫外线灯灭菌、灭菌液气体熏蒸和臭氧灭菌。
紫外线灯灭菌是一种很常见的灭菌方法，其原理是利用紫外线的辐射杀死细菌和病毒。这种方法的优点是简单易操作，不需要用化学药品，不会产生二次污染。但是，紫外线灯灭菌的缺点也显而易见，它的穿透力比较小，紫外线照射不到的地方，灭菌效果不好。此外，紫外线灯灭菌的灭菌能力随着使用时间的增加而减小，灯管寿命短，运行的成本高，不作为终灭菌的方法。
灭菌液气体熏蒸是一种比较彻底的灭菌方法，其原理是利用化学药品的气体杀死细菌和病毒。这种方法的优点是灭菌效果好，可以彻底杀死细菌和病毒。但是，灭菌液气体熏蒸的缺点也显而易见，操作麻烦，有必要进行长时间的熏蒸，有二次污染物。灭菌后室内残留气体单靠室内局部设置的单机除尘和系统排风，排风时间长，残留物附着在墙壁和设备上，需要擦除，在灭菌后的几天内，其悬浮粒子数会增加。
臭氧灭菌是一种比较新颖的灭菌方法，其原理是利用臭氧的氧化作用杀死细菌和病毒。这种方法的优点是灭菌效果好，可以彻底杀死细菌和病毒。但是，臭氧灭菌在使用的过程中必须要格外注意，臭氧为强氧化剂，可使铜片出现绿色锈斑，使橡胶老化、变脆、断裂，使织物漂白变色。另外臭氧灭菌作用受到pH、温度、湿度的影响，空气中臭氧浓度高于/m3时对人体有一定伤害。
每种方法都有其优点和缺点，应该要依据真实的情况选择正真适合的灭菌方法。在灭菌过程中，必须要格外注意操作规范，确保灭菌效果达到标准，保证洁净室内的环境达到要求。
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